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全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)xEA-160

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深圳市宇宸科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

PTC

型號(hào)：

全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)xEA-160

關(guān)注度：

210

產(chǎn)品介紹

EA-160是一款全自動(dòng)非接觸式表面測(cè)量?jī)x。利用光譜共焦原理，EA-160可用于膜厚線寬測(cè)量、微觀尺寸測(cè)量、高度差測(cè)量、平面度測(cè)量、共面度測(cè)量、粗糙度測(cè)量等，也可對(duì)透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測(cè)量。高精度、高速測(cè)量，結(jié)合強(qiáng)大易用的軟件，EA-160膜厚測(cè)試儀被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域：

HTCC膜厚線寬測(cè)量、LTCC膜厚線寬測(cè)量、SOFC印刷厚度測(cè)試、厚膜電路測(cè)量、晶圓涂膠測(cè)量、MEMS測(cè)量、SENSOR測(cè)量、太陽(yáng)能硅片測(cè)量、芯片形貌測(cè)量、透明材質(zhì)測(cè)量、環(huán)氧樹(shù)脂測(cè)量、印刷圖形測(cè)量、激光鐳雕測(cè)量、Wafer槽深測(cè)量、斷差測(cè)量、Lens測(cè)量、油墨厚度測(cè)量、藍(lán)寶石厚度測(cè)量、曲面鏡片測(cè)量

特點(diǎn)：

高速度、高精度自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

**160mm*160mm 范圍測(cè)量

透明材質(zhì)穿透測(cè)量

測(cè)量膜厚、線寬、平面度等

多程序自由切換，方便靈活

參數(shù)：

設(shè)備品名	全自動(dòng)非接觸膜厚測(cè)試儀
設(shè)備型號(hào)	EA-160
XY測(cè)量行程	160*160mm
Z軸可調(diào)行程	50mm
掃描*小步距	1um
**掃描速度	30mm/s
陶瓷檢測(cè)重復(fù)精度	±0.5μm
Z向分辨率	1nm
橫線分辨率	0.1um
光柵尺分辨率	0.01um
量程	1200um
測(cè)試方式	可編程自動(dòng)測(cè)量
MARK類型	圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規(guī)則圖形
載物平臺(tái)	微孔陶瓷真空吸附平臺(tái)
膜厚測(cè)試	支持
線寬測(cè)試	支持
粗糙度測(cè)試	支持
透明材料自動(dòng)測(cè)厚	支持
孔深、刻槽深度測(cè)試	支持
測(cè)量原理	光譜共焦
CCD視覺(jué)	500萬(wàn)
紅外激光對(duì)準(zhǔn)器	標(biāo)配
數(shù)據(jù)輸出	Excel、CSV格式、JPG格式
數(shù)據(jù)分析	CPK
數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)	平均值，*值，小值，極差，標(biāo)準(zhǔn)差，CP，CPK，良率，總數(shù)
數(shù)據(jù)接口	串口協(xié)議、網(wǎng)口協(xié)議
接口類型	RS485、RS232、RJ45
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)	存儲(chǔ)位置任意指定
數(shù)據(jù)回測(cè)	任意節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)回測(cè)
MES信息化系統(tǒng)	支持
設(shè)備日志	具備
操作系統(tǒng)	WIN10
校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī)	標(biāo)配
三角塊規(guī)	標(biāo)配
外觀尺寸	950650500mm
電源	AC220V±10%,50-60Hz
氣源壓縮空氣	0.3~0.7Mpa或真空氣源
重量	250KG
工控主機(jī)	內(nèi)存8G、固態(tài)硬盤480G、顯示器23.8“、分辨率19201080，高速千兆網(wǎng)口PCI2

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全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)xEA-160

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