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The above picture shows the sample space of the probe station | The above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. |
美國(guó)ARS 公司的PS-L型液氦/液氮型低溫探針臺(tái)用于樣品的非破壞性檢測(cè),測(cè)試靈活,廣泛應(yīng)用于直流(DC),射頻(RF),MEMS, 納米電子,超導(dǎo)性,納米電路的光電特性,量子點(diǎn)和量子線,非破壞性測(cè)試等。
液氦/液氮型和閉循環(huán)低溫探針臺(tái)核心部件是相同的,可共用相同的桌面、真空腔和探針臂。如果您先購(gòu)買(mǎi)了液氦/液氮型的探針臺(tái),那么可以在之后的任何時(shí)間內(nèi)升級(jí)成一個(gè)閉循環(huán)(無(wú)任何制冷劑)的系統(tǒng)。
該類(lèi)型探針臺(tái)使用了ARS液氦/液氮型低溫恒溫器,樣品溫度因制冷劑不同可達(dá)~4K(液氦)或 ~77K(液氮)。
該系統(tǒng)旨在提供一個(gè)大的、干凈的樣本環(huán)境。真空室由焊接不銹鋼制成,輻射防護(hù)罩由鍍有鎳的HC銅制成。鎳鍍層的低發(fā)射率和銅的高導(dǎo)電性使得樣品空間的輻射屏蔽更冷,凈制冷量更大。高質(zhì)量的真空元件是至關(guān)重要的,因?yàn)樗试S更深層的真空水平和更清潔的樣品具有更好的電接觸。
ARS既生產(chǎn)冷頭又生產(chǎn)探針臺(tái)的一站式生產(chǎn)確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定性能,也利于系統(tǒng)的診斷和售后服務(wù)。
應(yīng)用案例:
l 電磁特性
l 微波特性
l 低頻,高頻特性
l MEMS
l 納米電子學(xué)
l 超導(dǎo)特性
l 納米器件光電性能
l 量子點(diǎn)及納米線
l 單電子
l 低電流物理特性
典型結(jié)構(gòu)
l 液氦/液氮型低溫恒溫器
l 傳輸管線-標(biāo)準(zhǔn)6英尺(8英尺或者10英尺)
l 流量計(jì)
l 10英寸的不銹鋼真空腔帶6個(gè)微操作探頭端口和2個(gè)備用的NW80附件端口,安裝在經(jīng)陽(yáng)極化處理的鋁臺(tái)面上,由鋁制支撐架支撐
l 8 英寸的鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏
l 2.25英寸的無(wú)氧銅接地樣品座
l DC, 微波或光纖探針
l 4個(gè)溫度計(jì)和2個(gè)加熱器用于溫度控制和監(jiān)視
l LS336四通道溫度控制器帶與恒溫器連接電纜
l 7:1變焦顯微鏡,分辨率小于2 微米,同軸或者環(huán)形光。包括一個(gè)高分辨的24寸的寬屏液晶顯示器和顯微鏡光源
特點(diǎn) | 備注 |
8英寸鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) | 可升級(jí)4英寸樣品臺(tái) |
高純石英觀察窗 | |
藍(lán)寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至8個(gè)三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統(tǒng):高精度4通道控溫儀、用于測(cè)量樣品溫度的校準(zhǔn)行硅二極管溫度計(jì)(±12mK)、加熱器 | 溫度計(jì)安裝位置: 1、冷頭溫度計(jì),用于診斷 2、樣品臺(tái)溫度計(jì)及加熱器,用于控制樣品臺(tái)溫度,實(shí)現(xiàn)精確控溫 3、樣品溫度計(jì),用于精確測(cè)量樣品溫度 4、冷屏溫度計(jì)及加熱器,用于控制加熱冷屏溫度,實(shí)現(xiàn)快速換樣 |
三級(jí)減振系統(tǒng)樣品臺(tái)綜合振動(dòng)<1微米 | 樣品臺(tái)振動(dòng)<100nm |
7:1顯微觀測(cè)系統(tǒng),3微米分辨率,環(huán)形光源 | 可升級(jí)16:1顯微觀察系統(tǒng) |
規(guī)格及技術(shù)參數(shù) | |
制冷方式 | 開(kāi)環(huán)恒溫器,液氦/液氮 |
溫度范圍 | 液氦~4K - 400K(可選500K,800K) 液氮~77K - 400K(可選500K,800K) |
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于50mK |
泵抽真空時(shí)間 | 機(jī)械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時(shí)間 | 約30到45分鐘降溫到5K |
真空腔 | 不銹鋼真空腔 直徑10英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 直徑8英寸 上蓋藍(lán)寶石冷窗 熱連接至1級(jí)冷頭 |
樣品臺(tái) | 鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) 2.25英寸直徑 |
樣品臺(tái)連接 | 接地(標(biāo)準(zhǔn)) 絕緣(可選) 偏壓,通過(guò)同軸電纜至外部BNC接頭(可選) 偏壓到Guard,通過(guò)同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭(可選) |
探針臂位移臺(tái) | 手動(dòng)驅(qū)動(dòng) 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向(軸向)2英寸行程 Y方向(橫向)1英寸行程(標(biāo)準(zhǔn)) 2英寸行程(可選) Z方向(垂直方向)0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動(dòng) | 三級(jí)減振,樣品臺(tái)綜合振動(dòng)優(yōu)于1微米 |
溫度計(jì)安裝 | 4個(gè)溫度計(jì),2套加熱器 4個(gè)溫度計(jì)位置: 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于樣品臺(tái)底部用于控溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個(gè)校準(zhǔn)型DT-670-CU-4M溫度計(jì)安裝在樣品臺(tái)頂部樣品附近,用于精確測(cè)溫 2套加熱器位置: 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺(tái)底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫 |
顯微觀測(cè)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn)7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離:89毫米 數(shù)值孔徑:0.024-0.08 光源:環(huán)形光源 分辨率:3微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離:89毫米 數(shù)值孔徑:0.0090-0.15 光源:環(huán)形光源 分辨率:2微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭:SMA或BNC 頻率:0-100兆赫茲 阻抗:50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭:三同軸接頭 頻率:0-100兆赫茲 阻抗:50歐姆 卡爾文探針 電纜:同軸或三同軸 接頭:SMA/BNC/三同軸 頻率:0-100兆赫茲 針尖材料: 鎢針(標(biāo)準(zhǔn)) 鍍金鎢針(可選) 鈹銅鍍金(可選) 針尖半徑: 0.5微米(其他半徑可選) |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭:K型接頭 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭:2.4 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭:1.85 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見(jiàn) 或 可見(jiàn)/紅外 接頭:SMA905公頭 光纖樣品端:拋光裸頭 尺寸:100微米-400微米 |
典型案例
PS-L Continuous flow probe station with leastomeric vibration isolators. This design features manual and motorized capabilities. |
定制5臺(tái)機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
氣流篩分儀(原Hosokawa Alpine)
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動(dòng)拆包機(jī)
酒精回收塔
自動(dòng)吸盤(pán)振動(dòng)器離心式G08T
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PROMETHEUS