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美國(guó)SVT公司MBE束流源/蒸發(fā)源

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產(chǎn)品介紹

SVT HL 系列在坩堝端口有更高的溫度。在坩堝口提高溫度，以避免材料在蒸發(fā)過(guò)程中由于坩堝口溫度低而凝固。配有單電源、溫度控制器和電纜。

SVT CL 系列用于生長(zhǎng)鋁材料。采用冷口設(shè)計(jì)阻止鋁向坩堝口外蔓延而毀壞源。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。

SVT HT 系列蒸發(fā)源用于沉積低蒸汽壓材料。源的溫度可達(dá)2，000^oC。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。源在運(yùn)往客戶前都經(jīng)過(guò)全面檢測(cè)和標(biāo)征。對(duì)于4.5’’或更大接口的源，水冷卻罩和集成擋板可選。

SVT也提供可用于UHV氨環(huán)境下的冷口源。此源在坩堝口帶有冷卻水。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。

對(duì)于4.5’’或更大接口的源，水冷卻罩和集成擋板可選。

溫度范圍	0^oC-1，400^oC
功率	600W或1KW
溫度穩(wěn)定性	+/-0.1^oC
溫度重復(fù)性	+/-0.1^oC
熱偶	C型(D型可選)
坩堝容量	*16cc，20cc，22cc，40cc， 50cc，60cc，85cc， (16cc，22cc錐形壁坩堝均一性更高)
標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度	*12’’(762.5px)
法蘭接口	2.75’’或4.5’’OD-CF
電接插件	燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型

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