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SPS-2200手動探針臺

直接聯(lián)系

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

1373

產(chǎn)品介紹

美國MicroXact為專業(yè)的高品質(zhì)探針臺生產(chǎn)商，邁銳(MicroXact)公司探針臺有手動探針臺、半自動探針臺、低溫探針臺、三維磁體探針臺等。手動探針臺的主要型號：SPS-2000， SPS-2200。

技術(shù)規(guī)格：

技術(shù)規(guī)格	SPS-2000	SPS-2200
樣品尺寸	不大于 150mm	不大于200mm
樣品臺XY移動范圍	155mmx155mm	200mmx200mm
樣品臺XY移動分辨率	5um	5um
樣品臺XY移動軸承	精確橫軋輥	精確橫軋輥
臺面移動	12.7mm	12.7mm
臺面調(diào)整	粗調(diào)及細調(diào)，1.5mm重現(xiàn)性	粗調(diào)及細調(diào)，1.5mm重現(xiàn)性
臺面平整度	<12.7um (150mm臺面)	<12.7um (200mm臺面)
臺面剛性	<50um (4.5公斤承重)	<50um (4.5公斤承重)
真空卡盤	多區(qū)域真空吸附	多區(qū)域真空吸附
卡盤平整度	+/-13um	+/-13um
卡盤擊穿電壓	>500V	>500V
卡盤絕緣性	>1GW	>1GW
卡盤調(diào)節(jié)	360度粗調(diào)，+/-6度細調(diào)	360度粗調(diào)，+/-6度細調(diào)
顯微鏡	高品質(zhì)立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm；多種高倍顯微鏡；	高品質(zhì)立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm；多種高倍顯微鏡；
電學(xué)接口	BNC， Triax or Banana plug	BNC， Triax or Banana plug
尺寸	78cm x 80cm x58cm (W x D x H)	128cm x 122cm x 92cm (W x D x H)
重量	85kg ~ 95kg	85kg ~ 100kg
樣品快速裝載選件	不包括	包括