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工藝腔:9個(gè)有機(jī)分子源，單片玻璃尺寸(100*100mm/0.5~0.7t)，優(yōu)良的均勻性(≤±3%),可有效控制沉積速率，精確襯底對(duì)準(zhǔn)銷對(duì)準(zhǔn)，過(guò)渡艙模塊，機(jī)械警真空轉(zhuǎn)移試樣:

手套箱:單工位，內(nèi)含旋轉(zhuǎn)涂膜和UV固化:

控制系統(tǒng):菜單式操作、數(shù)據(jù)記錄、參數(shù)設(shè)置，全OLED蒸鍍?cè)O(shè)備OLED蒸鍍?cè)O(shè)備OLED蒸鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)電腦控制，帶互鎖。