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簡介：

單晶硅生長爐是采用直拉法生產(chǎn)太陽能級(jí)單晶的設(shè)備，在單晶硅的生產(chǎn)中，能否拉出符合質(zhì)量要求的單晶，整個(gè)工藝衛(wèi)生所起的作用是至關(guān)重要的，清爐這一環(huán)節(jié)是十分重要。單晶硅生長爐所需清爐的部位有：所有石墨器件上的浮塵和氧化硅一定要吸除干凈;真空排氣口和管道的氧化物每次清爐時(shí)都應(yīng)清除干凈，以保證排氣暢通。氧化物的沉積目前需要人工細(xì)致的清理，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，也會(huì)因局部清理不到位而給生產(chǎn)帶來隱患，采用非接觸全方位的專用清爐設(shè)備是改進(jìn)這一工藝的有效途徑?？梢栽鰪?qiáng)爐體的清潔能力，提高單晶爐的工作效率，使其更安全，更經(jīng)濟(jì)的可靠運(yùn)行。

工作原理：

單晶硅生長爐專用清爐設(shè)備以壓縮空氣作為動(dòng)力源，產(chǎn)生一定脈沖能量的沖擊波，使積灰、結(jié)垢在爐體內(nèi)或管道內(nèi)的附著狀態(tài)產(chǎn)生分離，并使原有的積灰、結(jié)垢發(fā)生疲勞斷裂和破碎。積灰和結(jié)垢在沖擊波的作用下，從附著面剝離而被一定流速流動(dòng)的氣體帶出，根據(jù)積灰的物理性質(zhì)優(yōu)化控制使積灰得以及時(shí)有效地清除，保持爐體清潔。