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典型加工零件

主要特點(diǎn)

1、磨輪采用12寸國家標(biāo)準(zhǔn)金剛石專用砂輪，磨輪的粒度的選型是根據(jù)客戶對(duì)工藝的要求定制;減薄單元采用軸向進(jìn)給(In-Feed)磨削原理，兼容中300~50mm晶圓研削減薄加工。

2、設(shè)備具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求。

3、磨輪主軸采用高精密氣浮專用電主軸，通過變頻器受數(shù)控系統(tǒng)控制進(jìn)行調(diào)速，可以根據(jù)不同產(chǎn)品決定工藝轉(zhuǎn)速。

4、為了實(shí)現(xiàn)高精度、高品質(zhì)的加工，搭載了高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺(tái)的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的空氣軸承部件。

5、采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服全閉環(huán)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)。

主要技術(shù)參數(shù)