粉體行業(yè)在線展覽
GC-8
1萬元以下
GC-8
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微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的專用工具,應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用僅限用于平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。 在金屬加工領域,這是一項安全可靠的工件傳輸。
自動化搬運、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,利用真空吸力使工作物固定,進行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。
加工對象:2、3、4、5、6、8、12英寸的半導體片。
吸盤類型:微孔陶瓷。
主要特點:平面度、平行度好,組織致密均勻、強度高、通透性好、吸附力均勻。