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在需要無油泵時，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護罩，將真空環(huán)境與潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場合。

XDS 泵的設(shè)計**性，采用軸承屏蔽將真空環(huán)境與形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。

可調(diào)氣囊允許處理蒸汽，將應(yīng)用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用為的實驗室濕化學(xué)應(yīng)用所選擇的材料。

應(yīng)用

分析儀器

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

渦輪分子前級泵

速離心機

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學(xué)儀器

特點及優(yōu)勢

軸承屏蔽

清潔和干燥的真空

真空空間中沒有軸承或油脂

無軸封，無軸承清洗

簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計

更換頂封口僅需 20 分鐘

無需工具

氣囊位置可選

無氣囊泄漏

水蒸汽處理量大

泵產(chǎn)品均經(jīng)外部機構(gòu)檢驗，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 標(biāo)準

可以輕松地將泵整合到已的系統(tǒng)中，產(chǎn)品按照ISO 9001 標(biāo)準制造、產(chǎn)品按照 ISO 14001 標(biāo)準制造

制程環(huán)保

參數(shù)