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nXDS干式渦旋泵具備出色的抽氣能力和先進(jìn)的設(shè)計(jì)特性。
nXDS泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了高真空度、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對(duì)可冷凝蒸氣(包括水、溶劑、稀酸和堿)進(jìn)行抽真空。nXDS泵還采用了新的端面密封技術(shù)，顯著延長了端面密封條更換的時(shí)間間隔。
nXDS-C是改進(jìn)型，更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應(yīng)用。這個(gè)耐化學(xué)腐蝕的版本是基于Chemraz?內(nèi)閥以及不銹鋼材料。nXDS-R型不帶氣鎮(zhèn)，因此它不能被突然打開。它可應(yīng)用于稀有氣體的再循環(huán)或者氣體回收。

軸承罩
可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
變頻器驅(qū)動(dòng)
全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性，從而有助于打造*佳用戶體驗(yàn)。
優(yōu)化渦盤設(shè)計(jì)
轉(zhuǎn)速提高， 極限真空比**代提高一個(gè)數(shù)量級(jí)，*低極限壓力僅為7 x 10-3mbar。
優(yōu)化端面密封技術(shù)
使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應(yīng)用而言，典型的端面密封條使用壽命達(dá)到2年以上。
高流量氣鎮(zhèn)特性：可以*高220 g/hr的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)。