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特長

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動

優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。

用途

?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。

?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

?  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

?  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。