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優(yōu)勢

? 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
? 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時間≤ 0.5sec。
? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
? DS300采用有效的機械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理，完全符合SEMI標準要求。