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結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features                                           

 ◆ 金屬膜片密封 ，提高產(chǎn)品的潔凈度與泄漏率

◆ 流道內(nèi)部電解拋光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin

◆ 母體螺紋：1/4"JFS接頭

◆ 內(nèi)部容積：0.49in3

◆ ＊大流量：標(biāo)準(zhǔn):30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM

◆ 設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力：＊大額定壓力的150%

◆ 設(shè)計(jì)爆炸壓力：＊大額定壓力的300%

◆ 100%出廠氦氣測(cè)試

產(chǎn)品應(yīng)用 Product application

◆ 腐蝕性和特殊氣體

◆ 半導(dǎo)體行業(yè)

◆ 研究實(shí)驗(yàn)室

◆ 化學(xué)工業(yè)

技術(shù)參數(shù) Specifications

◆ 母體 ：SS316L ，SS316L VIN/VAR ，Hastelloy?C22

◆ 閥座： PCTFE，Vespel?

◆ 膜片 ：SS316L，Hastelloy?C22合金

◆ 進(jìn)氣壓力：300, 3500psig

◆ 出氣壓力：10,15,25, 50, 100, 150psig

◆ 工作溫度：PCTFE：- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)  

                   Vespel?：- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)

◆ 泄漏率：

              內(nèi)漏2x10-10 sccs He

              外漏2x10-9 sccs He

◆ 流量參數(shù)：Cv =0. 09 HF Cv=0.15