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產(chǎn)品介紹

手動真空波紋管角閥采用316L波紋管并結(jié)合潔凈工藝處理，使閥門在使用過程中減少顆粒物的產(chǎn)生，非常適用于半導體行業(yè)或研究環(huán)境。它主要用于規(guī)格儀表或系統(tǒng)隔離，同時也推薦作為通氣、旁路或粗抽閥使用。

主要部件材料

閥體                       316L /316L（VIM+VAR）
密封圈                    FKM
波紋管                    316L

手柄                       6061

工作條件

真空壓力等級         0.1Mpa-1x10 ^-9 pa
漏率                      ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

CV值                       1.0/1.5/2.2

工作溫度                -10 ～ 80℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

產(chǎn)品特點

采用 316L 波紋管并結(jié)合潔凈工藝處理