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PECVD爐承載板(碳碳)
面議
湖南九華
PECVD爐承載板(碳碳)
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產(chǎn)品優(yōu)勢:
高強(qiáng)度和穩(wěn)定性:碳碳PECVD爐承載板通常由碳材料制成,具有很高的強(qiáng)度和穩(wěn)定性,能夠承受高溫和化學(xué)反應(yīng)的影響,保證在整個(gè)PECVD過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
良好的熱傳導(dǎo)性:碳材料的熱傳導(dǎo)性良好,這有助于在PECVD過程中保持材料的溫度一致,從而提高沉積過程的均勻性和效率。
耐腐蝕性:由于碳材料具有很好的耐腐蝕性,因此碳碳PECVD爐承載板可以在各種化學(xué)環(huán)境下保持穩(wěn)定,不會(huì)因?yàn)榛瘜W(xué)反應(yīng)而損壞。
使用壽命長:碳碳PECVD爐承載板的使用壽命較長,可以減少更換頻率,降低長期運(yùn)營成本
性能參數(shù):
產(chǎn)品性能 | 參數(shù) | 單位 |
體積密度 | 1.2-1.5 | g/cm3 |
抗折強(qiáng)度 | 120-150 | Mpa |
抗彎強(qiáng)度 | 110-130 | Mpa |
楊氏模量 | 30-40 | Gpa |
灰分 | 500 | ppm |
導(dǎo)熱系數(shù)(1000℃) | 30-32 | W/m.k |
長/寬 | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
直徑** | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
長度** | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
厚度 | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
**使用溫度 | 2800 | ℃ |
(無氧環(huán)境或惰性氣體保護(hù)下)