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Hiden IG5C 銫離子槍（Ion Gun），先進的離子槍，配合SIMS進行材料表面和深度的分析。具備低功耗、高亮度表面電離離子源，并耦合到一個緊湊的高性能組合中。

·穩(wěn)定的離子源

·精巧便于安裝的法蘭部件

·離子源：易于安裝、能自我校準

·離子源壽命長

·不同的泵強有力地保證了超高真空的腔室壓力·雙燈絲容量設計

·在光柵應用中，束消隱裝置可以快速進行束的轉(zhuǎn)換

·能量范圍： 500eV ~ 5KeV

·**電流： 200nA

·*小光斑尺寸： 20μm

·離子源壽命：一般在500小時

·法蘭規(guī)格：斜楔法蘭DN-35-CF

·功率： 8 W

IG5C Caesium Ion Gun (840 KB)