&

德國耐馳納秒級熱反射法薄膜導熱儀NanoTR

NanoTR / PicoTR

直接聯(lián)系

蘇州科蒂斯懷特工業(yè)設備有限公司

德國

產品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

NETZSCH(耐馳)

型號：

NanoTR / PicoTR

關注度：

2558

產品介紹

型號:	NanoTR / PicoTR
品牌:	NETZSCH(耐馳)
產地:	德國
產品別名:	皮秒級熱反射法薄膜導熱儀PicoTR 脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀
檢測方法:	熱反射法

產品介紹

測量原理

熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統(tǒng)，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如熱擴散系數（Thermal Diffusivity）、熱導率（Thermal Conductivity）、吸熱系數（Thermal Effusivity）和界面熱阻。

由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達到皮秒（ps）量級，此系統(tǒng)可測量厚度低至10nm的薄膜。同時，系統(tǒng)提供不同的測量模式，以適應于不同的基片情況（透明/不透明）。

該方法符合國際標準：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散系數；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。

發(fā)展簡史

1990 年，日本產業(yè)技術綜合研究所/日本國家計量院（AIST/NMIJ）發(fā)明熱反射法，測量薄膜導熱性能。
2008 年，AIST 設立 PicoTherm 公司。
2010 年，PicoTherm 公司推出納秒級熱反射系統(tǒng) NanoTR。
2012 年，PicoTherm 公司推出皮秒級熱反射系統(tǒng) PicoTR。
2014 年，PicoTherm 公司和 NETZSCH 公司建立戰(zhàn)略合作。NETZSCH 將負責 PicoTherm 產品在全球的銷售和服務。

測量模式

RF 測量模式	FF 測量模式

主激光源從反面加熱薄膜，檢測激光從正面測量薄膜的溫度升高過程，從而計算薄膜的導熱性能參數。此模式適用于透明基片。	主激光源從正面加熱薄膜，檢測激光從正面測量薄膜的溫度下降過程，從而計算薄膜的導熱性能參數。此模式適用于不透明基片。

NanoTR / PicoTR - 技術參數

技術參數	NanoTR	PicoTR
溫度范圍	RT，RT … 300°C（選件）	RT，RT … 500°C（選件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（選件）
測量模式	RF/FF	RF/FF
樣品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金屬：1 ... 20μm 陶瓷：300nm ... 5μm 聚合物：30nm ... 2μm FF：> 1μm	RF：金屬：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
熱擴散溫升時間	10ns ... 10μs	10ps ... 10ns
熱擴散系數	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
測量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系統(tǒng)	Windows 7	Windows 7