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X射線熒光光譜儀(XRF是一種射線式分析儀器，是X射線分儀器的一種常用形式。能分析原子序數(shù) 12~ 92的所有元素，選擇性高，分析微量組分時(shí)受基體的影響小，在地質(zhì)、采礦和治金等部門(mén)應(yīng)用很廣.

X射線是一種電磁輻射，其波長(zhǎng)介于紫外線和射線之間。它的波長(zhǎng)沒(méi)有一個(gè)嚴(yán)格的界限，一般來(lái)說(shuō)是指波長(zhǎng)為0.001-50nm的電磁射，X時(shí)線是用高速電了轟擊原子的內(nèi)層電子，使之處于高激發(fā)狀態(tài)，同時(shí)外層的電子躍遷到缺少電子的內(nèi)層軌道，在此過(guò)程中會(huì)伴隨著以電磁波形式釋放的能量，這種釋放能量的電磁波能量大，波長(zhǎng)小，肉眼不可見(jiàn)，稱之為X射線

如果用高速電子激發(fā)產(chǎn)生的義射線又作為激發(fā)源何稱之為一次義射)去未別的原子的內(nèi)層電子，同樣可產(chǎn)生X時(shí)線，只是這種X時(shí)線的自影量較一次X時(shí)經(jīng)低，波長(zhǎng)也較長(zhǎng)，這種射線稱為二次從射線或射線英光、熒光X射線，X射線熒光的波長(zhǎng)是以受激物質(zhì)(待測(cè)物質(zhì))的原子房數(shù)為特征的，原子房數(shù)越大的物質(zhì)波長(zhǎng)越短，各種不同的元素都有本身的特征X射線熒光波長(zhǎng)，這是用X射線熒光原理的X射線熒光光譜儀進(jìn)行定性分析的依據(jù),而元素受激發(fā)射出來(lái)的特征X射線熒光的強(qiáng)度則取決于該元素的含量，這是定量分析的依據(jù)。