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殘余氣體分析儀

四極桿質(zhì)譜儀是用于在真空系統(tǒng)中評估殘余氣體成分的經(jīng)典測量儀。

質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應(yīng)的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個操作階段有用的信息，無論是用于確定安裝后的氣密性和無污染性還是在操作真空處理時用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對檢測器的選擇。在高真空中，通常一個法拉第檢測器就足夠了，而在高真空中檢測非常低的氣體密度時，一個二級電子倍增器是必要的。另一個重要標(biāo)準(zhǔn)則是待檢測的質(zhì)量范圍。

在傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)中，大氣中的氣體，例如氮氣、氧氣、氬氣、水蒸汽等，通常受到輕烴污染是重點。為了檢測這些氣體，范圍在 1 至 100 原子質(zhì)量單位 (amu) 之間的四極桿質(zhì)譜儀是理想的，因為在該范圍內(nèi)顯示了良好的質(zhì)量分離。若較重的氣體及其組成成分也須檢測出來，如長鏈烴，普發(fā)真空也為此提供了范圍在 1?200 amu 或 1?300 amu 之間的質(zhì)量過濾器。

開放的離子源在大多數(shù)殘余氣體分析任務(wù)中是**選擇，因為它們將穩(wěn)健的設(shè)計與較高的檢測靈敏度相結(jié)合。憑借封閉或交叉束離子源，可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務(wù)。對于超高真空范圍，也可提供具有極低釋氣率的柵網(wǎng)離子源。

由于有大量的部件可供選擇，且得益于普發(fā)真空四極桿質(zhì)譜儀的精確配置，質(zhì)譜儀可作為所有測量任務(wù)的**選擇。我們的產(chǎn)品和應(yīng)用專家擁有多年的經(jīng)驗，將十分樂意為您提供有關(guān)殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。

PrismaPlust四極質(zhì)譜儀：

PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的**結(jié)合是 PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設(shè)計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。

通過可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀是從品質(zhì)保證，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的**方案。

PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀可 以在三個不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉， 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規(guī)，PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀就可以作為一個精確的全壓監(jiān)控器使用。

Quadera 軟件不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點滑鼠就可以啟動預(yù)設(shè)的功能。

Hiquad700是一款高分辨率的四極質(zhì)譜議

• 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu

• 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程

• 極快的測量速度：0.125 ms/amu

• *小可檢分壓< 10E-16 mbar

• 極高的分辨能力，可以分析小分子氣體同位素

• 分壓比<0.3ppb

• 超過 10 個不同的離子源和離子光學(xué)組合

• 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件

• 用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器

• IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出

• 軟件功能強大，靈活實用且具友好的用戶界面