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半導(dǎo)體電子顯微鏡

1997年FEI和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其全球業(yè)務(wù)
2008年臺(tái)式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom)進(jìn)入中國市場(chǎng)
2012年飛納(Phenom）臺(tái)式掃描電鏡全球銷zui突破2000臺(tái)
2013年飛納（Phenom)發(fā)布第三代臺(tái)式掃描電鏡，放大倍數(shù)
10萬倍，分辨率優(yōu)于17nm

 半導(dǎo)體電子顯微鏡

17世紀(jì)荷蘭光學(xué)天才:Antoni van

 Leeuwenhoek設(shè)計(jì)并制造世界

*臺(tái)光學(xué)顯微鏡

19世紀(jì)Anton和Gerard Philips在荷蘭埃因霍溫創(chuàng)建

        了飛利浦公司

1947年LePoole教授為Dorgelo教授展示荷蘭*臺(tái)掃描電子顯微鏡

飛納(Phenom)主要特點(diǎn)

一長(zhǎng)壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲

一表面細(xì)節(jié)豐富的高質(zhì)量圖片

一內(nèi)置彩色光學(xué)顯微鏡

一自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)

一30秒快速成像，操作簡(jiǎn)單

一光學(xué)與低倍電子雙重導(dǎo)航

一防震設(shè)計(jì)，對(duì)放置環(huán)境無牛條殊要求

一樣品倉低真空技術(shù)，直接觀測(cè)絕緣體，}c需噴金

一四分割高靈敏度背散射電子探頭，兼得樣品表面

  形貌與成份信息