粉體行業(yè)在線展覽
晶圓襯底磨拋清洗液
面議
集特斯
晶圓襯底磨拋清洗液
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產(chǎn)品名稱:晶圓襯底磨拋清洗液
產(chǎn)品型號(hào):JTS-SY01(FL) (PH值為堿性)
包裝規(guī)格: 1KG/瓶裝 5KG/壺裝 10KG/桶裝 25KG/桶裝
應(yīng)用特征: 本產(chǎn)品適用于晶圓襯底及光電晶體基材的 研磨拋光后制程 。主要清洗客戶產(chǎn)品表面 磨拋后的研磨液和拋光粉等臟污積留,有 效去除CMP制程在晶體表面殘留的硅溶膠 化合物,經(jīng)超純水漂洗過(guò)后產(chǎn)品表面潔凈 度特別高,接近RCA濕法清洗標(biāo)準(zhǔn)。屬于 集特斯聯(lián)合研發(fā)的特殊體系配方,專注于 減少CMP制程工藝中的硅溶膠化合物殘留。 有良好的污垢分散去除能力,本產(chǎn)品清潔 效果優(yōu)異,對(duì)晶體材料無(wú)腐蝕的同時(shí)也降 低員工在生產(chǎn)操作的風(fēng)險(xiǎn)