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六氟乙烷（C2F6）

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艾佩科（上海）氣體有限公司

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艾佩科

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六氟乙烷（C2F6）

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產品介紹

六氟乙烷（C2F6）

化學式	C2F6
中文名稱	六氟乙烷
英文名稱	Hexafluoroethane
CAS No.	76-16-4
分子量	138
充裝系數	1.06kg/L (氣瓶公稱工作壓力12.5MPa時)
應用	在等離子工藝中作為二氧化硅和磷硅玻璃的干蝕氣體。可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。亦可用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑。

六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物，是鹵代烴，亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。

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六氟乙烷（C2F6）

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