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6英寸SiC導(dǎo)電型襯底晶錠

直接聯(lián)系

合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

世紀(jì)金芯

型號(hào)：

6英寸SiC導(dǎo)電型襯底晶錠

關(guān)注度：

385

產(chǎn)品介紹

6英寸SiC導(dǎo)電型襯底晶錠規(guī)格書

項(xiàng)目

性能

參數(shù)

晶體參數(shù)

表面晶向

Surface orientation

4.0° toward [11-20]± 0.5°

4H晶型面積

areas

100%

邊緣多晶

Edge polycrystal

無

機(jī)械參數(shù)

直徑(mm)

Diameter

150±0.1

參考面方向

Primary flat orientation

<11-20>±5.0°

參考面長(zhǎng)度(mm)

Primary flat length

47.5±1.5

電學(xué)參數(shù)

電阻率 (2 · cm)

Resistivity

0.01-0.03

摻雜劑

Dopant

N型摻氮

缺陷參數(shù)

微管密度(個(gè)/cm2)

Micropipe Density

≤0.5

基平面位錯(cuò)BPD(個(gè)/cm2)

≤7000

表面質(zhì)量

裂紋

Cracks

無

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6英寸SiC導(dǎo)電型襯底晶錠

合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司

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