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石墨托盤

技術(shù)

1)用于LED外延片加工石墨頂板;

2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;

3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;

4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。

功能

1)較低的熱膨脹系數(shù)

2)thermak導(dǎo)電性更好

3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance

4)更好的耐蝕性

5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性

規(guī)范

數(shù)量單位

體積密度1.85克/立方厘米

比電阻11 - 14 uΩm

抗壓強(qiáng)度90 mpa

撓曲強(qiáng)度40 mpa

肖氏硬度60

灰分500 ppm

平均粒度20 um

膨脹系數(shù)4.5 gte

彈性模量11平均績點(diǎn)