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晶圓產(chǎn)品參數(shù)

摻雜：Sn

導(dǎo)電性：n

晶面：(100)

雙晶搖擺半高寬：≤250”

載流子濃度：≥1×1018 cm-3

位錯密度：<1×105 cm-2

目前參考尺寸：4 inch

參考邊：[010]方向

加工指標(biāo)：晶面偏差：<±1°；直徑：100.0 mm±0.5 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.02 mm；單面拋光，Ra<1 nm

產(chǎn)品外形示意圖