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蜂窩墊

蜂窩墊

直接聯(lián)系

東莞市中微力合半導(dǎo)體科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

中微力合

型號:

蜂窩墊

關(guān)注度:

105

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品概述

主要優(yōu)點在于孔深度比目前市面上的要深,故使用壽命長??组g距跟孔大小比例優(yōu)化**,配上我司自主研發(fā)的聚晶金剛石液磨削效率極高。

產(chǎn)品可以定制化,**一整張可以做到1300mm。產(chǎn)品不屬于危險品,無需特殊包裝,運輸途中勿彎折即可。

應(yīng)用領(lǐng)域

本蜂窩墊主要用于半導(dǎo)體晶圓片,如:藍(lán)寶石、碳化硅晶圓及所有超硬脆材料的超精細(xì)研磨。

產(chǎn)品特點

  • 片材沖切,蜂窩網(wǎng)格槽結(jié)構(gòu)均勻;

  • 背膠耐高溫,粘性強(qiáng),換盤不易殘膠,表面平整;

  • 研磨精度高;

  • 肓孔深度深,使用壽命長;

  • 孔間距大小比例優(yōu)化**,配上我司自主研發(fā)的聚晶金剛石液磨削效果**;

  • 可替代銅盤工藝,節(jié)能、環(huán)保、無污染。

產(chǎn)品規(guī)格及驗證參數(shù)

 材料去除率
金剛石液D50
碳化硅
晶圓
藍(lán)寶石
C向
氧化鋯
陶瓷
氧化鋁
陶瓷
氮化鋁
陶瓷
氧化硅
ZW-301(3μm)22.53.5433
ZW-302(2μm)1.51.6332.52.3
ZW-303(1.5μm)11.222.521.5
ZW-401(1μm)0.811.2


ZW-501(0.5μm)0.40.50.8


ZW-601(0.2μm)0.20.3



ZW-40




2.5
不同型號磨液對應(yīng)不同加工材料去除率;單位:μm/min (數(shù)據(jù)來源:中微實驗室)


產(chǎn)品咨詢

蜂窩墊

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蜂窩墊 - 105
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