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等離子技術(shù)，是利用高壓的電場，使空氣中的O2電離產(chǎn)生O3，其臭氧產(chǎn)生效率要比紫外燈管高很多。但等離子管幾乎不發(fā)射出紫外線。缺少了紫外線的催化作用，在單純采用等離子工藝的廢氣處理裝置中，臭氧與有機(jī)廢氣的反應(yīng)變得緩慢困難，同樣制約了設(shè)備的處理效能。