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大面積CVD石墨烯生長設(shè)備

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

關(guān)注度:

5306

產(chǎn)品介紹

大面積CVD石墨烯生長設(shè)備

 

設(shè)備尺寸

Φ300*2800mm

爐管尺寸

Φ300*3000mm

**進(jìn)料量

20Kg

加熱元件

進(jìn)口KTL電阻絲

加熱區(qū)數(shù)量

3-8區(qū)(可根據(jù)需求定制)

**溫度

室溫至1200℃,連續(xù)可調(diào)

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

結(jié)構(gòu)描述

①設(shè)備可電動對半開啟,自動控制冷卻降溫系統(tǒng).實現(xiàn)可控冷卻速度.

②在進(jìn)料端配備2路高精度質(zhì)量流量計系統(tǒng),準(zhǔn)確控制氣體流量,可以實現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。

③系統(tǒng)采用自動化工藝流程,設(shè)定好工藝一鍵操作。降低人為因素,工藝可靠性可以達(dá)到99.9%;

④機械泵系統(tǒng):1pa,另外配備微調(diào)系統(tǒng),確??梢栽诜€(wěn)定負(fù)壓下生長石墨烯;可實現(xiàn)日產(chǎn)20萬平方厘米石墨烯薄膜

腔體

采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現(xiàn)象

供氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計


產(chǎn)品咨詢

大面積CVD石墨烯生長設(shè)備

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