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硅片拋光機

硅片拋光機工作原理：
本系列硅片拋光機由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達到拋光的目的。
硅片拋光機特點：
1.本系列拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；

3.本系列拋光機運行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達到0.0005mm。