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>FE系列磁控濺射臺

品牌展臺：上海福宜真空設(shè)備有限公司

產(chǎn)品

FE系列磁控濺射臺

直接聯(lián)系

上海福宜真空設(shè)備有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

福宜真空

型號：

FE系列磁控濺射臺

關(guān)注度：

949

產(chǎn)品介紹

4in.三靶聚焦共濺射鍍膜系統(tǒng)，可以滿足多組份或多層金屬和化合物濺射鍍膜，樣品臺同時(shí)具備公轉(zhuǎn)和自傳功能，可以同時(shí)安裝多片100mm樣品，薄膜厚度均勻性達(dá)到5%，靶材利用率達(dá)到40%以上。強(qiáng)磁場設(shè)計(jì)，可以滿足鐵磁材料濺射。濺射陰極主體采用聚四氟乙烯設(shè)計(jì)，優(yōu)化水冷設(shè)計(jì)，可以滿足大功率密度濺射，成膜速率提高30%以上。

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FE系列磁控濺射臺

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