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1、無刷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求。

2、 迷宮式氮?dú)饷芊?，腔?nèi)與腔外隔離，無接觸式密封效果，確保工藝環(huán)境要求。

3、 采用PTFE 氣控閥組件，PVDF 管路及接頭。

4、采用316L 不銹鋼材質(zhì)，表面電解拋光處理。

5、沖洗，吹凈，吹干，烘干功能，利用高速旋轉(zhuǎn)離心力，把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除，

同時(shí)潔凈氮?dú)獍褮埩纛w粒塵埃帶走，使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈。

6、靜電消除功能，產(chǎn)品高速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生靜電，利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達(dá)到中和狀態(tài)。

7、機(jī)械自復(fù)位功能，停機(jī)待機(jī)片盒朝上。

8、氮?dú)鈮毫?，門密封狀態(tài)，片盒朝上等條件保護(hù)。

9、 控制單元獨(dú)立控制，獨(dú)立運(yùn)行，操作簡(jiǎn)單，維修方便。