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氧等離子清洗機
面議
納恩科技
氧等離子清洗機
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氧等離子清洗機其原理是:在低真空環(huán)境中通入氧氣,上電極接入的射頻功率會使得上極板與下極板交替(陰極)發(fā)射電子,電子經(jīng)過上下極板之間的電場加速后撞擊氧分子:當(dāng)電子速度達(dá)到足夠大時,其撞擊便會使氧氣電離;電離后的氧等離子體中含有的多種帶電粒子,在電場的作用下,這些帶電粒子不斷碰撞別的粒子,不斷變化;*后氧等離子體整體達(dá)到動態(tài)平衡,其含有各種粒子的比例由射頻功率決定。同時在這個過程中,需要不斷輸入氧氣和排出廢氣。