粉體行業(yè)在線展覽
氮化硅陶瓷基板爐
面議
維尚科技
氮化硅陶瓷基板爐
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產(chǎn)品介紹
氮化硅陶瓷基板爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護(hù)的特點(diǎn),采用非接觸式高溫測(cè)量、真空系統(tǒng)過濾保護(hù)、獨(dú)特尾氣處理設(shè)計(jì)。主要用于氮化硅流延基板先進(jìn)材料等進(jìn)行真空,脫氣、加壓致密化等,廣泛應(yīng)用于航天航空、電子電器半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
裝料空間(W*H*L) | 600*600*1400 |
溫度均勻性 | ≤±4℃ |
**工作溫度 | 2200℃ |
**工作壓力 | 2MPa |