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標(biāo)題：

美格氧化亞硅半連續(xù)真空燒結(jié)爐 臥式半連續(xù)氣相沉積真空爐

技術(shù)參數(shù)：

裝料罐尺寸 50*50*1200，裝料量0.24M3 ，工作溫度1400℃，極限溫度1550℃，溫差控制精度3℃，真空度0.5-2.5pa，氣氛類別：Ar/N2，總功率170KW，工序時長24H/爐。

工藝特點：

適用于動力電池負極材料（氧化亞硅制備、硅氧負極材料預(yù)鎂化氣相沉積中試）大批量生產(chǎn)用；溫差控制精度高，高溫高真空；氣相沉積等工藝能力。生產(chǎn)效率高，全程全封閉全自動化作業(yè)，生產(chǎn)能耗低，性能穩(wěn)定，主要元器件皆為進口大品牌，是目前業(yè)界真空氣相沉積、氧化亞硅制備/硅氧負極預(yù)鎂化氣相沉積工藝優(yōu)秀的解決方案。

關(guān)鍵詞：

氣相沉積制粉真空爐 氧化亞硅真空爐 氧化亞硅混煉真空爐 氧化亞硅氣相沉積制粉 氧化亞硅提純、氣相預(yù)鎂、