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氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

MGB140-130VH

直接聯(lián)系

深圳市美格真空科技有限公司

深圳

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

500萬以上

型號:

MGB140-130VH

關(guān)注度:

2284

創(chuàng)新點(diǎn):

產(chǎn)品特點(diǎn):適用于動力電池負(fù)極材料(氧化亞硅等可氣相沉積材料)大批量生產(chǎn);溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空脫氧,脫脂、脫水、混煉反應(yīng)、氣相沉積材料自動研磨刮料、爐外收集等特殊工藝能力。完全自主知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì)制造,一次裝料量大,生產(chǎn)效率極高,全程全封閉全自動化作業(yè)(可配AGV智能物流車),生產(chǎn)能耗相比普通單體爐降低約50%,性能穩(wěn)定,主要元器件皆為進(jìn)口大品牌。

產(chǎn)品介紹

氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

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設(shè)備名稱∶氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

應(yīng)用領(lǐng)域∶氧化亞硅半連續(xù)量產(chǎn)

工藝描述∶高真空脫氧,氣相沉積,自動研磨刮

料、爐外收集。可配AGV智能物流車

技術(shù)參數(shù):

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1.型號:MGB150-130VH

2. 技術(shù)參數(shù):裝料罐尺寸Φ1500 X 1300,裝料量2.5T,工作溫度1350℃,極限溫度1600℃,真空度0.5-2.5Pa,氣氛類別:Ar/N2,總功率500KW,工序時(shí)長24H/爐。

3. 產(chǎn)品特點(diǎn):適用于動力電池負(fù)極材料(氧化亞硅等可氣相沉積材料)大批量生產(chǎn);溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空脫氧,脫脂、脫水、混煉反應(yīng)、氣相沉積材料自動研磨刮料、爐外收集等特殊工藝能力。完全自主知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì)制造,一次裝料量大,生產(chǎn)效率極高,全程全封閉全自動化作業(yè)(可配AGV智能物流車),生產(chǎn)能耗相比普通單體爐降低約50%,性能穩(wěn)定,主要元器件皆為進(jìn)口大品牌。保修期一年,售后服務(wù)高效、專業(yè)。

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產(chǎn)品咨詢

氧化亞硅半連續(xù)氣相沉積爐

MGB140-130VH

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