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小型PECVD管式爐系統(tǒng)

OTF-1200X-50S-PE

直接聯(lián)系

合肥科晶材料技術有限公司

安徽

產品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

科晶

型號：

OTF-1200X-50S-PE

關注度：

3749

產品介紹

小型PECVD管式爐系統(tǒng)

  • 型號：

  • OTF-1200X-50S-PE

  • 產品概述：

  • OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯(lián)式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設備性價較為理想。

設備名稱

小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產品特點

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 整套設備尺寸小巧；

? 可通過工藝調節(jié)來控制化學計量；

? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

加熱爐參數(shù)

? **溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。


圖片1.jpg    溫控儀表.JPG



更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。


300W射頻電源500W射頻電源100W射頻電源輸出功率0-300W可調（穩(wěn)定性：±1%）0-500W可調（穩(wěn)定性：±1%）0-100W可調（穩(wěn)定性：±1%）射頻頻率13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）匹配自動匹配自動匹配手動匹配噪音＜50dB＜50dB＜50dB冷卻方式風冷風冷風冷輸入電壓AC180-250VAC108-250VAC110-240V圖片  
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:


一路0-100 sccm二路0-200 sccm三路0-200 sccm四路0-500 sccm


? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產品尺寸和重量

? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重：75 kg 

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


圖片1.png

承諾

? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）


產品咨詢

小型PECVD管式爐系統(tǒng)

OTF-1200X-50S-PE

合肥科晶材料技術有限公司

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