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二維材料生長CVD系統(tǒng)

BTF-1200C-400C-SL

直接聯(lián)系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽

產品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

貝意克

型號:

BTF-1200C-400C-SL

關注度:

2330

產品介紹

主要特點Main features

前端配有預熱爐,可用于蒸發(fā)固態(tài)源

Equipped with a preheating furnace for evaporating solid state sources

加熱爐選用滑軌爐,可實現(xiàn)快速升溫/降溫,縮短實驗時間

Uses a slide furnace to achieve rapid heating/cooling and shorten the experiment time.

法蘭端采用卡箍密封,這樣就使進料出料更加的方便。

The flange end is sealed by a clamp, which makes the feeding and discharging more convenient.

進氣系統(tǒng)可以按照客戶的實驗需求配置幾路質量流量計,流量計的量程也可以選擇不同的配置,真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。

Gas supply system can be configured with several mass flow meters according to the customer's experimental requirements. The flow meter's range can also be selected in different configurations. The vacuum system can also be configured with various vacuum pumps according to customer requirements.

 

技術參數(shù)Technical Parameters

Preheating Furnace預熱爐

Max. Temp

400

溫區(qū)長度zone length

100mm

Heating furnace滑軌爐

Max. Temp

1200

Power 功率

2KW (220V)

溫區(qū)長度zone length

Heating:440mm

Constant:200mm

Temperature Controller

控溫方式

lPID automatic control and auto-tune function.

 模糊PID控制和自整定調節(jié)

l30 programmable segments for precise thermal processing.

智能化30段可編程控制

lBuilt-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 

超溫和斷偶報警功能

Heating Elements

加熱元件

·Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

Temperature Accuracy

控溫精度

+/- 1℃

Processing tube

爐管

Size:Φ50*1650mm

尺寸:Φ50*1650mm

Gas supply system氣路系統(tǒng)

連接頭類型Connector style

雙卡套不銹鋼接頭Double cutting ferrule stainless steel connector

標準量程(N2)Standard range(N2)

50sccm、100sccm、200sccm、500sccm; (可根據(jù)用戶要求定制)optional

準確度Accuracy

·±1.5%FS

響應時間Response time

Gas characteristics:1~4sec

  氣特性

Electrical characteristics:10sec

  電特性

線性Linearity

±0.5~1.5%

Working pressure difference range

工作壓差范圍

0.1~0.5MPa

Max. pressure**壓力

3MPa

壓力真空表Pressure vacuum gauge

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

Vacuum unit真空系統(tǒng)

空氣相對濕度Relative air humidity

≤85%

抽速pumping

10m3/h

真空度vacuum

10-1Pa

容油量Oil capacity

1.1L

轉速Rotation rate

1450rpm

噪音Noise  

50dB


產品咨詢

二維材料生長CVD系統(tǒng)

BTF-1200C-400C-SL

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