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小型回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

BTF-1200C-R-S-PECVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

貝意克

型號(hào)：

BTF-1200C-R-S-PECVD

關(guān)注度：

2073

產(chǎn)品介紹

一、主要特點(diǎn)

1、該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

2、可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間;

3、該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn)，針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長(zhǎng)等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象;

4、本款設(shè)備可以做金屬?gòu)?fù)合石墨烯材料，是目前**端的金屬?gòu)?fù)合材料制備設(shè)備。

二、技術(shù)參數(shù)

顯示模式	7"液晶觸屏顯示
**溫度	1200℃
升溫速率	10℃/S
加熱區(qū)長(zhǎng)度	230mm
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
控溫方式	7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
爐管尺寸	Φ25*800mm
爐管轉(zhuǎn)速	3~13r/min
傾斜角度	0~35°
加熱功率	3KW
射頻功率輸出范圍	0~500W
供氣系統(tǒng)	標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì)（50/100/200sccm）
供電電源	220V50Hz
通訊接口	USB
外形尺寸	1600mm650mm1400mm
設(shè)備凈重	約220KG