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智能型滑軌式CVD系統(tǒng)

BTF-1200C-SL-L-CVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

貝意克

型號：

BTF-1200C-SL-L-CVD

關注度：

1464

產(chǎn)品介紹

一、設備簡介

BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng)。該設備主要分為五大部分：加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣體控制供給系統(tǒng)，自動控制移動系統(tǒng)，控制軟件系統(tǒng)組成。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛，配K型熱電偶，單點控溫；加熱爐置于滑軌上，可手動在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動到想要的位置并用限位器固定??；氣路系統(tǒng)采用4路流量計控制，經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合，再進入左端進氣法蘭；左端法蘭端蓋上預留1路進氣口，內(nèi)部有不銹鋼導氣管，可將氣體導入加熱區(qū)位置。該設備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。

二、技術參數(shù)

額定功率	3KW(加熱爐膛)
額定電壓	220V 50/60Hz
**溫度	1200℃
持續(xù)工作溫度	≤1100℃
推薦升溫速率	≤10℃/min
加熱區(qū)長度	440mm
熱電偶	K型熱電偶
控溫方式	10寸觸液晶屏觸摸控制，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
爐體尺寸	2207501450mm（長寬高）
設備凈重	300KG
爐管尺寸	高純石英管Φ100*1650mm