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智能型PECVD系統(tǒng)

PECVD-III-500A-D210

直接聯(lián)系

安徽貝意克設備技術有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

貝意克

型號：

PECVD-III-500A-D210

關注度：

841

產(chǎn)品介紹

一、設備組成

這是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。

2、氣路系統(tǒng)

可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內(nèi)。

3、射頻組件

1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。

4、智能控制系統(tǒng)

采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。

二、技術參數(shù)

**溫度	1200℃
持續(xù)工作溫度	≤1100℃
升溫速率	≤10℃/min
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
控溫方式	模糊PID控制和自整定調節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控
加熱總功率	≤15KW
加熱區(qū)尺寸	300+300+300mm
射頻功率	1000W
設備尺寸	25508501600mm
設備重量	約600KG