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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

直接聯(lián)系

安徽科冪儀器有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

科冪

型號：

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

關(guān)注度：

606

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。

 

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目型號TFE - 1200 - 50 - 220
**溫度1150℃（短期）
額定溫度1100℃
推薦升溫速率≤10℃/min
控制精度±1℃
爐管尺寸Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸Φ80*220mm
加熱區(qū)長度220mm
恒溫區(qū)長度80mm
加熱元件優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率3KW
供氣系統(tǒng)

三路高精度MFC

量程0-500sccm（可定制）

射頻電源

射頻功：5-500W；

射頻頻：13.56MHz；

匹配方式：自動匹配

真空系統(tǒng)雙級旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等）
外形尺寸1250*510*810mm

 


產(chǎn)品咨詢

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

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