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真空井式坩堝爐 1400℃

QSH-VCF-1400T

直接聯(lián)系

上海全碩電爐有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

1-5萬(wàn)元

品牌:

全碩

型號(hào):

QSH-VCF-1400T

關(guān)注度:

5066

應(yīng)用行業(yè):

主要用于煅燒真空或惰性氣體保護(hù)下的高純度化合物或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片,也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。

產(chǎn)品介紹

本設(shè)備是由石英坩堝(或氧化鋁陶瓷坩堝)和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護(hù)下的高純度化合物或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片,也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。



井式爐
 

二、真空井式坩堝爐參數(shù)說(shuō)明

型號(hào)

QSH-VCF-1200T

QSH-VCF-1400T

QSH-VCF-1700T

工作溫度

1200

1400

1700

加熱元件

電阻絲

硅碳棒

硅鉬棒

熱電偶

K

S

B

控溫方式

51段可編程自動(dòng)控制,PID調(diào)節(jié)控溫精度

升溫速率

0-10

0-20

控溫精度

±1

真空度

-0.1MPa

爐膛材料

氧化鋁陶瓷纖維板

爐殼

雙層爐殼,風(fēng)冷結(jié)構(gòu)(爐底安裝兩個(gè)散熱風(fēng)扇),爐殼表面溫度低于60

額定功率

1KW—8KW

常用爐膛尺寸

Φ240xH220mmΦ40xH300mm;Φ60xH300mmΦ80xH300mm;Φ100xH300mm;Φ120xH300mm

 

 

三、溫控程序曲線示意圖(六段為例):

 

  LD-1700M 說(shuō)明書(shū)
 

四、溫控程序?qū)?yīng)符號(hào)及其意義:

 

提示符

輸入數(shù)據(jù)

意義

C 01

0

起始溫度值

t 01

60

從0~300℃的升值時(shí)間為60分鐘

C 02

300

個(gè)目標(biāo)溫度值

t 02

10

300℃保溫時(shí)間10分鐘

C 03

300

第二個(gè)目標(biāo)溫度值

t 03

240

從300~1500℃的升值時(shí)間為240分鐘

C 04

1500

第三個(gè)目標(biāo)溫度值

t 04

30

1500℃恒溫時(shí)間10分鐘

C 05

1500

第四個(gè)目標(biāo)溫度值

t 05

260

從1500~200℃的升值時(shí)間為260分鐘

C 06

200

第五個(gè)目標(biāo)溫度值

t 06

-121

程序運(yùn)行結(jié)束,自然降溫

 


產(chǎn)品咨詢(xún)

真空井式坩堝爐 1400℃

QSH-VCF-1400T

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