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>三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV

三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV

三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV

直接聯(lián)系

合肥康帕因設備技術有限公司

安徽

產品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

康帕因

型號:

三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV

關注度:

1248

產品介紹

設備特點

    CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三溫區(qū)真空回轉爐、三路質量流量計系統(tǒng)及低真空機組而成一種動態(tài)狀態(tài)下的化學氣相沉積系統(tǒng)。三溫區(qū)開啟式真空回轉管式爐采用雙層風冷結構,爐體表面溫度≤60,爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。。進口加熱電阻絲鑲嵌延長爐體使用壽命,該設備容許粉末樣品在高溫狀態(tài)下動態(tài)燒結處理,配備磁流體密封裝置,使得整個設備處于真空狀態(tài)下工作。特殊樣品倉結構設計,避免傳統(tǒng)回轉爐取樣等繁瑣操作,該回轉加熱爐與氣路控制系統(tǒng)及真空構成真空回轉CVD系統(tǒng),滿足樣品在真空或者氣氛條等多種實驗條件下燒結,工藝擴展型好,重復性好。是專為高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業(yè)在高溫真空添加下處理粉末材料的理想設備.


技術參數(shù):

名稱

規(guī)格

開啟式三溫區(qū)真空回轉管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

 

 

 

 

三溫區(qū)真空回轉爐

爐管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等)

配備特殊設計石英樣品倉,可將樣品倉整管取出,取放樣方便

主要參數(shù)

**溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發(fā)生形變)

 工作溫度: 1100℃

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長度: 300+300+300mm

 額定功率:7KW

旋轉速度:0-13轉/min

 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結構

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,**限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集(需另購)


溫控儀表(可選)

標配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(需另外訂購)

出氣端配備磁流體密封裝置,容許設備在連續(xù)真空條件下工作。

備注:本公司標配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴展端口

 如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵:10^-1Pa

 分子泵機組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空


外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

三路質量流量控制系統(tǒng)

MFC-3Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm、200sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

**承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m3/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年保修,終身技術支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

相關應用

爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

 可以根據(jù)要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 石英管的長時間使用溫度<1100℃

 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


產品咨詢

三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV

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