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>1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

GSL-1700X-HVC

直接聯(lián)系

合肥科晶材料技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

科晶

型號:

GSL-1700X-HVC

關(guān)注度:

2689

范圍(量程或細度):

--

產(chǎn)品介紹

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

  • 型號:

  • GSL-1700X-HVC

  • 產(chǎn)品概述:

  • GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其**工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

GSL-1700X 系列管式爐殼體· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組爐管· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上· (標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L功率6KW工作電壓 AC 208-240V單相, 50/60Hz加熱元件8 根1800°C grade MoSi2 heating element工作溫度· **工作溫度.: 1650°C(<2h)(更新時間:19.12.10--JS2)連續(xù)工作溫度.: 1600°C升溫速率≤5°C/min加熱區(qū)長度加熱區(qū)長度: 457 mm (18")溫控系統(tǒng)· 采用PID方式自動控制,并可設(shè)置30段升降溫程序· 控溫精度: ±1°C                   · 控溫儀表操作視頻熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)真空法蘭· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝· 法蘭上帶有一機械壓力表· 兩個精密針閥· 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭外形尺寸550 x 380 x 520mm
高真空機組功率100~110W工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz外形尺寸600(L) x 600(W) x 700(H), mm殼體· 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm· **承載量:       600 Lbs on top· 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    控制面板· 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動) · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率抽氣速率· N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s工作范圍 1000 mbar to <1E-7 mbar極限<1E-8 mbar (without any leaking )
質(zhì)量流量控制器殼體· 采用 316不銹鋼制作· 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制功率18W工作電壓AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質(zhì)量認證

· CE  

· 所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CSA認證

· 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證

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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

GSL-1700X-HVC

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