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用途：

CVD氣相沉積爐用于燒結(jié)碳碳及碳陶復(fù)合材料產(chǎn)品.

主要配置：

1.臥式爐體，雙層爐體結(jié)構(gòu)，水冷夾套設(shè)計(jì)。

2.爐膛內(nèi)由發(fā)熱元件，保溫層，測溫?zé)犭娕?，監(jiān)測熱電偶組成

3.發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁均勻布置，有利于加熱，溫度均勻性好

4.PLC加觸摸屏/工控機(jī)操作方式，有報(bào)警功能，自動(dòng)化程序高,安全可靠

技術(shù)特征：

1.采用進(jìn)的控制技術(shù)，能精確控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍??；

2. 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)； 

3. 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

4. 對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；

5. 采用全新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長，維修率極低。

 產(chǎn)品規(guī)格：