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標(biāo)題：

美格小型氧化亞硅氣象沉積真空爐 小型氧化亞硅原料真空爐

技術(shù)參數(shù)：

裝料罐尺寸Φ200 * 800，裝料量0.025M3，，工作溫度１35０℃，極限溫度1600℃，溫差控制精度3℃，真空度0.1- 2.5pa，氣氛類(lèi)別：Ar/N2，總功率35KW，工序時(shí)長(zhǎng)24H/爐。

工藝特點(diǎn)：

三溫區(qū)設(shè)計(jì)，陶瓷內(nèi)膽，適用于動(dòng)力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）小批量生產(chǎn)用；溫差控制精度高，高溫高真空；具備脫水、混煉反應(yīng)、提純等工藝能力。反應(yīng)充分，成品率高（約95%），性能穩(wěn)定，主要元器件皆為進(jìn)口大品牌，保修期一年，售后服務(wù)高效、專(zhuān)業(yè)。

關(guān)鍵詞：

氣相沉積真空爐 氧化亞硅原料真空爐 氧化亞硅氣相沉積真空爐

氧化亞硅歸中反應(yīng) 氧化亞硅提純