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6 ~ 8英寸LPE碳化硅長(zhǎng)晶爐 (感應(yīng)式/電阻式）

LPE碳化硅長(zhǎng)晶爐

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上海漢虹精密機(jī)械有限公司

上海

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LPE碳化硅長(zhǎng)晶爐

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采用感應(yīng)/電阻式加熱方式，在不銹鋼腔體內(nèi)以液相法生長(zhǎng)SiC晶體，并可兼容物理氣相法(PVT)。

可提供半定制化服務(wù)

6 ~ 8英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐 (感應(yīng)式/電阻式）

晶體尺寸 6 ~ 8英寸

工藝 LPE

加熱方式感應(yīng)式/電阻式

基本參數(shù) 主機(jī)尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm

整機(jī)重量約2.2T

支持系統(tǒng) 電源容量 50kVA（感應(yīng)式）/ 280kVA（電阻式）

電壓 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz

冷卻水壓力 0.3 ~ 0.5MPa

流量＞200L/min

工藝氣體壓力＞0.2MPa

壓縮空氣壓力 0.5~1.0MPa

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6 ~ 8英寸LPE碳化硅長(zhǎng)晶爐 (感應(yīng)式/電阻式）

LPE碳化硅長(zhǎng)晶爐

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