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Advance Riko RTP-快速退火爐

直接聯(lián)系

凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

5445

范圍(量程或細(xì)度):

--

產(chǎn)品介紹

退火溫度均勻性:

 ±2.0℃

退火溫度準(zhǔn)確性:

 ±2.0℃

降溫速率:

 30℃/s

**升溫速率:

 50℃/s

溫度范圍:

 室溫~1200℃

樣品尺寸:

 2英寸

產(chǎn)地類別:

 進(jìn)口

儀器種類:

 高真空快速退火爐

價格區(qū)間:

 10萬-30萬



快速熱處理(RTP)已經(jīng)成為半導(dǎo)體、鐵電體以及鍍膜行業(yè)的重要退火技術(shù)。但是目前,只有大型的、昂貴的生產(chǎn)設(shè)備才能完成快速熱處理,這大大降低了研發(fā)工作的效率(尤其是小的樣品)。為了滿足市場的需求,ADVANCE RIKO研發(fā)出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設(shè)備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據(jù)需求選配相應(yīng)的泵和氣體接口,MILA能提供與大型RTP設(shè)備相同的熱處理性能。

特點:

快速加熱及冷卻能力;

可在任意氣氛中使用;

實時觀測試樣;

精確的溫度控制;

 

型號

MILA-5000Series

溫度范圍:

室溫~1200℃

加熱功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮氣氛圍

溫度均勻性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮氣氛圍

加熱氣氛:

大氣、真空、惰性氣氛環(huán)境下

試樣尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模組:

溫度VS時間設(shè)定、Step數(shù)256、Program數(shù)32(Max);

PID+Fuzzy控制、自動微調(diào)、USB通訊、自動/手動切換;

 


產(chǎn)品咨詢

Advance Riko RTP-快速退火爐

凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司

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Advance Riko RTP-快速退火爐 - 5445
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