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碳化硅燒結(jié)爐是用來反應(yīng)燒結(jié)碳化硅的真空燒結(jié)爐，**溫度1800度，極限真空度5x10-1pa，保溫層為石墨板和碳?xì)謴?fù)合結(jié)構(gòu)，加熱室為密閉形式，阻止硅蒸汽溢出，加熱材料為石墨，有充氣排膠系統(tǒng)。

工作區(qū)有，446,4413,,5514,6620，8812，7732，8840等多種規(guī)格。