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氮化鋁基板燒結(jié)爐

設(shè)備特點:

設(shè)有強制的冷卻系統(tǒng)和獨立的進排氣結(jié)構(gòu)

溫度要求高，可達到2400℃高溫，且爐內(nèi)溫度穩(wěn)定

可根據(jù)客戶要求，提供爐膛、爐膽尺寸定制，可以更好的配合生產(chǎn)

設(shè)備用途:

電子陶瓷金屬共燒(氮化鋁、氧化鋁、氧化鈹?shù)?

鎢金屬純化、石墨純化、陶瓷金屬化、藍寶石長晶等;

退火、燒結(jié);氮化鋁長晶，

設(shè)備規(guī)格:

有效區(qū):臥室-石墨熱場(Graphite box):410x410x600/410x410x1800

加熱器:石墨管/鎢網(wǎng)/鎢板式

隔熱屏材料:超高純石墨化硬氈/鎢鉬復(fù)會屏

**裝爐量:300kg~1000kg

**設(shè)計溫度:2050℃℃~30009℃

極限真空:5pa

溫度均勻性:±5°C

工藝氣氛:氨氣/氫氣/氫氣/氟

充氣壓力:≤0.05mpa